隨著電子工業(yè)的發(fā)展,在芯片的生產(chǎn)加工過程中,對于水質(zhì)的要求也越來越高。為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路,除高純原材料、高純氣體、高純化學(xué)藥品外,高純水也是其中關(guān)鍵的因素之一。高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。超純水制造系統(tǒng)總體來說一般可分為三個部分:超純水制造區(qū)(CUB部分)、超純水拋光循環(huán)區(qū)(FAB部分)、超純水輸送管網(wǎng)(FAB各使用區(qū))。其中超純水制造區(qū)為復(fù)雜,其又可分為:預(yù)處理、一次純水處理、超純水處理三個部分。預(yù)處理部分主要包括:沙濾、活性碳塔(有的廠商在沙濾前還增設(shè)反應(yīng)槽、氣浮池);一次純水處理部分主要包括:陰陽離子交換塔、脫氣塔(DG)、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透;超純水處理部分主要包括:MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)及終端過濾器。考慮到在向工藝設(shè)備輸送高純水過程中,輸水管道會對水質(zhì)再次造成污染,因而在FAB內(nèi)一般都設(shè)立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心,再加上超濾設(shè)備(UF),以除去在向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過程中,管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。

　　在超純水制造系統(tǒng)中管材的選用也非常重要,既要能做到保證水質(zhì)、又應(yīng)該做到經(jīng)濟合理。超純水制造系統(tǒng)中常用管材主要包括:PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超純水制造區(qū)預(yù)處理階段多采用PVC管或SUS304管。設(shè)備面管一般采用內(nèi)襯膠鋼管(SGPRL),對于水泵等產(chǎn)生震動的動力設(shè)備周邊采用SUS304管;在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管。高壓泵與反滲透(RO)之間,由于壓力高所以必須采用SCH80的SUS304管及耐壓2.0MP*的法蘭。由于RO對水溫有一定的要求,因而一般在RO之前有熱交換器,其周邊也應(yīng)該采用SUS304管;在超純水制造階段,主流程一般應(yīng)采用SUS316管和CPVC管;拋光循環(huán)區(qū)主流程一般采用SUS316管(焊接連接,并要求雙面成型)和PVDF管,超純水回收管道采用CPVC管。在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通PVC管;在純水制造過程中酸堿等加藥管線,應(yīng)采用耐沖擊PVC管;純水系統(tǒng)中使用的氮氣系統(tǒng)采用SUS304管,超純水拋光系統(tǒng)所用氮氣管道采用SUS316管;壓縮空氣系統(tǒng)在純水系統(tǒng)中作為氣動閥開關(guān)動力,一般采用SUS304管或SGP管,當(dāng)采用SGP管時進入電氣盤前需加過濾器。